vguitВестник Воронежского государственного университета инженерных технологийProceedings of the Voronezh State University of Engineering Technologies2226-910X2310-1202VSUET10.20914/2310-1202-2018-2-119-124vguit-1784Research ArticleИнформационные технологии, моделирование и управлениеInformation technologies, modeling and managementИсследование влияния количества модулей многокластерного технологического комплекса и выполняемые ими операции на общую производительность установки с использованием имитационного моделированияInvestigation of the influence of the number of modules of a multicluster technological complex and the operations performed by them on the overall performance of the installation using simulation simulationsКуликовИ. Н.KulikovI. N.

аспирант, кафедра электронных технологий в машиностроении, 2 я Бауманская ул., 5/1, Москва, 105005, Россия

graduate student, electronic technologies in mechanical engineering department, Baumanskaya str., 5/1, Moscow, 105005, Russia

kulik19998@gmail.comКолесникЛ. Л.KolesnikL. L.

к.т.н., доцент, кафедра электронных технологий в машиностроении, 2 я Бауманская ул., 5/1, Москва, 105005, Россия

Cand. Sci. (Engin.), associate professor, electronic technologies in mechanical engineering department, Baumanskaya str., 5/1, Moscow, 105005, Russia

l.kolesnik@m-i.ruМосковский государственный технический университет им. Н.Э. БауманаBauman Moscow State Technical University201815062018802119124Copyright © Куликов И.Н., Колесник Л.Л., 20182018Куликов И.Н., Колесник Л.Л.Kulikov I.N., Kolesnik L.L.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.vestnik-vsuet.ru/vguit/article/view/1784

Вариативность компоновок кластерного оборудования обусловливает разработку методов, направленных на анализ и поиск возможных схем компоновок, которые отвечают заданным требованиям и критерию оптимальности производительности. Достаточно часто на производстве сталкиваются с задачей наиболее оптимальной утилизации кластерного оборудования. Для нахождения решений используют различные подходы, такие как: запуск в систему нескольких потоков полуфабрикатов, увеличение числа рабочих лап робота в транспортном модуле и т. д. В данной работе исследован многокластерный технологический комплекс, зависимость производительности МТК от количества выполняемых операций наименее загруженного модуля. Показано, что с помощью данного подхода можно существенно упростить нахождение решения задачи построения кластерной установки при наличии потоков пластин двух типов, а также нахождения графика запуска для максимальной и минимальной производительности. Актуальность работы обусловлена необходимостью нахождения наиболее оптимального варианта компоновки многокластерного комплекса и графика запуска полуфабрикатов (с учетом вариативности выполняемых операций в модулях) как на этапе проектирования установки, так и при эксплуатации уже существующих установок.

Variety of compositions of multicluster tools determines the development of methods aimed at analysis and search of feasible compositions, which meet the requirements and optimal performance (throughput) criteria. Very often in the industry, there is a task to find optimum utilization of the cluster tool. To find a solution various approaches are used, such as input in the system several flows of the semifinished products, increasing overall number of the arms of the robot, etc. In this article cluster tool and throughput dependence on quantity of performed operations of the least loaded module are investigated. It is shown, that with the help of this approach one can easily simplify both finding the solution of the task to composite cluster tool with flows of two different types of wafers and determining schedule of the wafers for maximum and minimum throughput. Relevance of the article is stipulated by substantive and complex choices of both finding optimal composition of the cluster tool and scheduling semifinished products flows (in accordance with variations of the operations in modules) at both the design and exploitation stage.

полупроводниковое производствомногокластерный технологический комплексструктурные схемы полуфабрикатовграфик запуска полуфабрикатовsemiconductor manufacturingmulticluster toolsstructural schemes of semi-finished productsemifinished products’ scheduleReferencesКуликов И.Н. Автоматизированное формиро-вание структур мультикластерных технологических комплексов // Теоретические и прикладные аспекты современной науки. 2014. № 2–1. С. 63–73Kulikov I. N. Automated formation of structures of multicluster technological complexes. Teoreticheskie i prikladnye aspekty sovremennoj nauki [Theoretical and applied aspects of modern science] 2014. no. 2–1. pp. 63–73. (in Russian)Куликов И.Н., Рябов В.Т., Шубников А.В. Имитационное моделирование кластерного технологи-ческого оборудования в полупроводниковом производстве // Наноинженерия. 2013. № 9 (27). С. 3–6Kulikov I. N., Ryabov V.T., Shubnikоv A. V. Simulation modeling of cluster technological equipment in semiconductor production. Nanoinzheneriya [Nano-engineering]2013. no. 9-27. pp. 3–6. (in Russian)Куликов И.Н. Имитационное моделирование управления потоками полуфабрикатов в много-кластерном технологическом комплексе. образование // Наука. научные кадры. 2015. №: 5. С. 271–275Kulikov I N Simulation modeling of flow control of semi-finished products in a multicluster technological complex. Education. Nauka nauchnye kadry [Science. scientific personnel] 2015. no. 5. pp. 271–275Perkinson T., McLarty P., Gyurcsik R., Cavin R. Single-Wafer Cluster Tool Performance: An Analysis of Throughput // IEEE Trans. Semiconduct. Manufact. 1994. V. 7. № 3. Р. 369–373.Perkinson T., McLarty P., Gyurcsik R., Cavin R. Single-Wafer Cluster Tool Performance: An Analysis of Throughput. IEEE Trans. Semiconduct. Manufact. 1994. vol. 7. no. 3. pp. 369–373.Pederson D., Trout C. Demonstrated Benefits of Cluster Tool Simulation // Proc. Int. Conf. Modeling and Analysis Semicond. Manuf. Tempe. AZ. 2002. Р. 84–89.Pederson D., Trout C. Demonstrated Benefits of Cluster Tool Simulation.  Proc. Int. Conf. Modeling and Analysis Semicond. Manuf. Tempe. AZ. 2002. pp. 84–89

The authors declare that there are no conflicts of interest present.